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基礎(chǔ)信息Product information

產(chǎn)品名稱:日本新宇宙 XP-703D 半導(dǎo)體特氣檢漏儀(自動吸引式)

產(chǎn)品型號:XP-703D

產(chǎn)品簡介:

型 號 XP-703D
檢測對象氣體
半導(dǎo)體材料氣體(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等)

檢測原理
型半導(dǎo)體式

采樣方式
自動吸引式

可檢測濃度
(單位:ppm)
砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氫氣
AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2
0.2 0.3 0.1 0.5 1.0

產(chǎn)品特性Product characteristics

日本新宇宙 XP-703D 氣體檢測儀

 

日本新宇宙 XP-703D 氣體檢測儀

 

 

特點(diǎn):
于檢測半導(dǎo)體特氣的微量泄漏。
 采用聲光報警。

規(guī)格

 
型 號

XP-703D

檢測對象氣體

半導(dǎo)體材料氣體(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等)

檢測原理

型半導(dǎo)體式

采樣方式

自動吸引式

可檢測濃度
(單位:ppm)

砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氫氣
AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2
0.2 0.3 0.1 0.5 1.0

檢測表示

蜂鳴器斷續(xù)鳴響及指示燈閃爍

應(yīng)答速度

10秒以內(nèi)

 

 

示波器

網(wǎng)絡(luò)測試儀

蓄電池測試儀

溫濕度計

照度計

綜合測試儀

信號源系列

照度計

萬用表

電子負(fù)載

LCR電橋

高斯計

頻譜分析儀

接地電阻測試儀

邏輯分析儀

噪音計

安規(guī)測試儀

絕緣電阻測試儀

鉗形表

涂層測厚儀

功率計

電源/變頻電源

氣體檢測儀

推拉力計


 

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